Турбомолекулярные насосы

  Турбомолекулярные насосы, купить турбомолекулярные насосы со склада в Москве, гарантия лучшей цены на турбомолекулярные насосы, запросить стоимость и узнать цену на турбомолекулярные вакуумные насосы.

Описание, классификация турбомолекулярных насосов, принцип действия:

  Турбомолекулярные насосы (ТМН) - это кинетические вакуумные насосы, которые работают с использованием быстро вращающегося ротора (обычно вращающегося со скоростью от 24 000 до 90 000 об/мин). На роторе турбомолекулярного насоса установлены лопатки в перпендикулярной плоскости. Рабочее давление находится в диапазоне от высокого до сверхвысокого вакуума в диапазоне от 10-3 до 10-11 мбар, при скорости откачки по воздуху от 20 до 4500 литров в секунду.

   Турбомолекулярные вакуумные насосы подразделяются на несколько типов в зависимости от вида подшипников. Классический подвес ротора на механических подшипниках (как правило, в так называемой консольной конструкции с подшипниками на нижнем конце вала и в области ступеней нижнего ротора). Однако для этого требуется смазка, а срок службы насоса определяется сроком службы подшипника, а поскольку замена подшипника является специализированной задачей, это необходимо выполнять за пределами производства и эксплуатации насоса. Кроме того, при использовании турбин с механическими подшипниками надо обратить внимание на положение установки турбины. С другой стороны, механические подшипники для ТМН обладают высокой устойчивостью к внешним ударам, вибрациям, а также имеют небольшую опорную поверхность.

   Альтернативой механическим подшипникам для турбомолекулярных вакуумных насосов являются пяти осевые (2X, 2Y, Z) активные магнитные подшипники (расположенные на обоих концах вала ротора) с датчиками положения и регулируемым магнитным полем. Полностью магнитный подвес ротора ТМН. Эти вакуумные насосы не требуют смазки по сравнению с механическими подшипниками, обеспечивают работу без углеводородов, срок службы насоса не ограничивается износом подшипника и очень низкая вибрация при работе. Из-за отсутствия механических подшипников эти вакуумные насосы способны перекачивать агрессивные газы, которые обычно разрушают смазанные подшипники в течение короткого периода времени. По сравнению с механическим подшипником эти узлы имеют меньшую устойчивость к внешним ударам, газовым нагрузкам. Кроме того, они имеют большую площадь основания и стоят турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе дороже, чем насосы, в которых используются подшипники других типов. Как правило, турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе большой производительностью, с продувкой азотом и часто изготавливаются в коррозионно-стойком исполнении для установок плазменного травления.

  Гибридный подшипник для турбомолекулярного насоса использует механический подшипник, расположенный на «нижнем» конце вала ротора, с парой пассивных магнитных подшипников, расположенных на «верхнем» конце вала. В отличие от системы с двойным механическим подшипником, срок службы блока в основном ограничен сроком службы только одного механического подшипника, а передаваемые вибрации меньше из-за отсутствия второго механического подшипника. Гибридные конструкции подшипников выигрывают от благоприятной динамики ротора, что также позволяет производить замену подшипников на месте эксплуатации. Подобно ТМН с полностью магнитной левитацией, гибридные подшипники ТМН также демонстрируют более низкую устойчивость к внешним ударам. В тоже время данный вид подшипников ограничен производительностью турбомолекулярного насоса. По ценам турбомолекулярные насосы с гибридным подшипником самые бюджетные среди спектра насосов ТМН.

Принцип действия: турбомолекулярные насосы

 Турбомолекулярные вакуумные насосы нашли довольно широкое распространение, как в лабораторной практике, так и в промышленном производстве. По сравнению со многими другими сверхвысоковакуумными насосами им присущ ряд преимуществ: постоянная готовность к работе, быстрый запуск около 5 минут, нечувствительность к резкому повышению давления (вплоть до атмосферного при прорыве на атмосферу), широкий диапазон рабочих давлений от 10 мбар до 10-10 мбар, примерно одинаковая быстрота действия по большинству газов, чрезвычайно высокая стенень сжатия для газов с молекулярной массой больше 44. Турбомолекулярные насосы с молекулярной ступенью, полностью на магнитном подвесе обеспечивают безмасляный вакуум, при парциальном давлении углеводородов на входе турбомолекулярного насоса 1*10-15 паскаль, давление на выхлопе насоса, то есть на форвакуумной линии 1-13 Паскаль, соответствует остаточному давлению большинства форвакуумных насосов пластинчато-роторных, спиральных вакуумных насосов. Форвакуумные насосы используются для откачки турбомолекулярных насосов и предварительной откачки. Турбомолекулярные насосы относят по принципу действия к вакуумным насосом, которые сжимают газ и придают молекулам импульс для направленного движения в сторону форвакуума. Степень сжатия существующих турбомолекулярных насосов составляет 103 по водороду, 1012 по азоту и больше или равна 1015 по углеводородам и возрастает с увеличением частоты вращение ротора. Турбомолекулярный насос может начинать откачку с давлением 100 паскаль или 1 мбар, но при этом быстрота действия его будет мала, а потребляемая мощность велика в результате большой газовой нагрузки. К тому же в турбомолекулярном насосе будет выделяться заметное количество тепла.

   Основными характеристиками турбомолекулярного насоса являются быстрота действия (скорость откачки по газам), предельное остаточное давление (вакуум), наибольшее впускное давление и присоединительный фланец.

  Запуск турбомолекулярного вакуумного насоса осуществляется в следующей последовательности: включают форвакуумный насос для предварительной откачки. Если турбомолекулярный насос с водяным охлаждением, то подают воду для охлаждения турбины, для небольших турбомолекулярных насосов часто используют воздушное охлаждение. Постепенно открывают клапан на выхлопе турбомолекулярного насоса и производят предварительную откачку полости турбомолекулярного насоса и через него откачиваемого объема, вакуумной камеры. Включать турбомолекулярный насос нужно в такой момент, чтобы к моменту разгона ротора до номинальной скорости вращения, выпускное давление бы ниже 0,1 мбар. Поэтому на выхлопе турбомолекулярного насоса устанавливают форвакуумный датчик типа ПМТ, датчик низковакуумный типа Пирани, для измерения уровня вакуума на выхлопе с турбины и в форвакуумной линии. При первом закуске турбомолекулярного насоса, а в дальнейшем при загрязнение его конденсирующими парами полезен прогрев средней части насоса. Поэтому многое турбомолекулярные насосы имеют рубашку для нагрева. Обматывают от торцевой крышки насоса слоем стеклоткани и укладывают нихромовый нагреватель с керамическими изоляторами. Нагрев турбомолекулярного насоса производят при работающем насосе и подаче воды для охлаждения подшипникового узла. Прогрев производиться несколько часов, обычно до тех пор, пока в процессе прогрева не начнет снижаться остаточное давление. Обратите внимание, что турбомолекулярные насосы имеют разное уплотнения на фланцах, металлическое медное уплотнение стандарта CF и витоновое ISO. Допустимая температура прогрева для витона до 200С. Для медных уплотнений до 400С. Для выключения турбомолекулярного насоса необходимо выключить питание, снять напряжение. При выключении турбомолекулярного насоса ротор способен по инерции вращаться десятки минут. Для сокращения времени торможения ротора турбомолекулярного насоса через дросселирующий клапан напускают атмосферный воздух, поддерживая в насосе форвакуумное давление на уровне 0,1 мбар. Напуск воздуха в насос также необходим, чтобы исключить обратный поток газов и паров масла из форвакуумной линии при использовании масляного двухступенчатого вакуумного насоса. Чем ниже вакуум на выхлопе турбомолекулярного насоса обеспечивается форвакуумным насосом, тем глубже окончательное давление турбомолекулярного насоса.

Преимущества турбомолекулярных насосов:

  Турбомолекулярные насосы просты в эксплуатации и требуют низких эксплуатационных расходов. ТМН обеспечивают низкую вибрацию, работу без углеводородов, высоковакуумные насосы, которые не требует регенерации. Турбомолекулярные насосы обеспечивают постоянную скорость откачки до 6000 л/с в широких диапазонах давлений. Турбомолекулярные насосы очень компактны и в сочетании с сухим форвакуумным насосом обеспечивают полностью безмасляную откачку. Такие условия необходимы для создания условий наивысшей чистоты и самых жестких требований по вакууму. Эти особенности означают, что турбомолекулярные насосы подходят для широкого спектра применений от электронной микроскопии до производства полупроводников.

 Компания ВАКТАЙМ поставляет турбомолекулярные вакуумные насосы разных заводов изготовителей, если Вы хотите купить турбомолекулярный насос, хотите узнать какая цена на турбомолекулярный насос, обратитесь к нашим специалистам. Наши технические специалисты помогут Вам подобрать оптимальный вариант по бюджету и для вашего применения.

 Компания ВАКТАЙМ предлагает уникальные турбомолекулярные насосы с горизонтальным ротором для откачки больших объемов, как правило, для термовакуумных испытаний. Производительность таких турбомолекулярных насосов от 10 000 до 30 000 л/с по азоту, предельное давление 1*10-8 Па и используются для получения безмасляного вакуума в больших вакуумных камерах.