Геттерные сверхвысоковакуумные насосы

Титановые сублимационные насосы часто используются в сочетании с ионными геттерными насосами, поскольку они имеют особенно высокую скорость откачки для некоторых газов. Геттерные насосы и сублимационные из титанового сплава нагреваются электрически до тех пор, пока титан не сублимируется с поверхности нитей в вакуум. С распыляемым или нераспыляемым геттером. Сублимированный титан осаждается на стенках вакуумной камеры, поверхностях и образует ювенильный слой. Этот слой имеет высокую скорость прокачки для реактивных газов, которые либо образуют химическое соединение со слоем, либо поглощаются. С увеличением охвата этими газами скорость откачки снова уменьшается при сверхвысоком вакууме.

Охлаждая поверхности жидким азотом, можно значительно увеличить скорость откачки. Сублимационные насосы серии Titan особенно подходят для таких газов, как H2O, CO, CO2 и O2. Используется азотное охлаждение, H2 и N2. Также предлагаются уникальные сверхвысоковауумные насосы заливные с охлаждение жидким гелием He.