Установка плазмохимического травления KIVOS

   KIVOS - это очень гибкая модульная концепция для ионно-плазменных вакуумных систем. Ионно-плазменные системы применимы во множестве областей, таких как ионная очистка, активация поверхностей, реактивное ионное травление (RIE) и тонкопленочные покрытия (PVD). Модульная конструкция ионно-плазменных установок позволяет выпускать системы высокого класса и по доступным ценам. Наши клиенты получают выгоду от этого преимущества благодаря разумным ценам на установки вакуумного напыления, установки плазмохимического травления. Другим преимуществом является то, что одна концепция может использоваться для совершенно разных приложений в зависимости от технологического процесса и задач.

    Основная идея этой концепции заключается в том, чтобы сделать максимально возможное количество компонентов системы легко взаимозаменяемыми, что означает как взаимозаменяемость между собой, так и замену с помощью новых компонентов, например, для нового применения.

   Как видно из приведенной ниже схемы, основным элементом модульной системы является кубическая вакуумная камера из нержавеющей стали. Камера установлена на раме, к которой прикреплены шесть пластин (модулей) из листового металла, предназначенных для выполнения различных функций. В зависимости от применения модули могут изготавливаться из нержавеющей стали или алюминия. Каждый модуль может иметь встроенные источники плазмы или источники для напыления осаждения тонких пленок.

   Поскольку все модули имеют одинаковые размеры (куб), их можно легко и быстро заменить между собой или заменить другими компонентами. Таким образом, нет необходимости приобретать совершенно новую технологическую камеру для немного другого применения, для которого могут потребоваться только два новых фланца или другая дверь камеры. В некоторых случаях может быть достаточно заменить несколько модулей поменяв их местами друг с другом.

   Кроме того, клиент может выбирать между различными источниками плазмы (DC, MF, RF или MW), вакуумными насосами, системой напуска газа и нагревом. Настройка системы зависит только от приложения - все можно легко изменить и скомпоновать под Ваши задачи.

   В настоящее время предлагается три стандартные вакуумные камеры. Различные размеры также доступны по запросу.

   Вся технологическая система, включающая насос, средства управления, генератор плазмы, вакуумную арматуру и вакуумные датчики монтируется на стойке, которая занимает максимальную площадь пола 1,5 м². Общая высота системы в основном зависит от размера вакуумной камеры.

  Компания ВАКТАЙМ предлагает своим клиентам технологические вакуумные системы для нанесения покрытий в вакууме и ионно-плазменной обработки.  Благодаря модульной конструкции, вакуумные установки имеют очень гибкую конфигурацию, которая может быть легко изменена или дооснащена в будущем. 

  Вакуумная откачная станция для создания вакуума специально разработана для индивидуальных применений. В установках серии KIVOS использует все типы вакуумных насосов, которые поставляются проверенными производителями. В большинстве случаев используются следующие насосы:

  Роторно-лопастные насосы с номинальной пропускной способностью макс. до 250 м³/ч и достижимое предельное давление 5×10-3 мбар.

  Ротационные вакуумные насосы типа Рутс (в сочетании с пластинчато-роторными насосами обеспечивают более высокую производительность (> 250 м³ / ч) в том же диапазоне давлений

   Турбомолекулярные насосы с номинальной пропускной способностью до 3500 л/с и достижимое предельное давление <1 × 10-6 мбар (в вакуумной камере KIVOS) во время технологического процесса нанесения пленки или травления.

Все вакуумные насосы могут быть в стандартном или коррозионно-стойком исполнении

   Плазменные генераторы предлагаются для установок серии KIVOS комплектные плазменные источники. Самые популярные для использования в области радиочастот (13,56 МГц) и имеет в своем распоряжении широкий спектр предложений под задачи клиента. 

DC: макс. 0,5 - 20 кВт: MF (40 кГц): макс. 1,25 - 10 кВт
HF (13,56 МГц): макс. 0,3 - 10 кВт
МВт (2,54 ГГц): макс. 0,3 - 6 кВт

СИСТЕМА КОНТРОЛЯ

   Наша система управления основана на собственной концепции программного обеспечения, на базе PLC Siemens s7, которая позволяет модульным образом удовлетворять даже очень сложные требования управления и контроля окончания процесса с применением масс-спектрометров и OE микроскопов.

  Если вы хотите купить установку плазмохимического травления или узнать цену на установку вакуумного напыления, обратитесь к специалистам компании ВАКТАЙМ для получения коммерческого предложения. Мы предлагаем доступное решение по цене на установки ионно-плазменного травления. Истинно немецкое качество!